花了15年的时间,结果在原子强弱分离的间隔空腔的体积上只能做到1.5平方厘米,只不过是自由美丽间九十年代初期的水平。
就这……欧洲人还不忘给自己脸上贴金,说什么“伽利略”导航卫星的原子钟技术水平世界领先,实际上欧洲人在芯片级原子钟方面刚刚入门罢了。
国内就更不用说了,综合技术水平还不如俄国,这也是为什么国内不少人会寄希望于通过与欧洲的合作,获得先进原子钟的制造工艺。
原因很简单,即便达不到自由美丽间那种直接降到平方毫米的水平,能达到平方厘米也是个不错的进步。
却不成想,中国腾飞不但达到了立方毫米级别,还进一步降到了1平方毫米一下,达到惊人的0.125平方毫米……
要知道这个程度已经与自由美丽间前不久刚刚公布的GPSⅢ导航卫星所使用的原子钟内的气泡空腔体积相差无几。
如此情况下怎能不让在场众人犹如梦幻,国内在这方面的技术水平真的超过欧洲,与自由美丽间处在同一水平线上了?
“各位请看,这就是我们刚刚生产出的铷原子泡的成品……”
就在在场众人在0.125平方毫米的震惊中无法自拔时,庄建业已经从助理的手中接过一张原型的硅片,然后指着上面一个个不足指甲盖大小的方格说道:“我们的气泡空空腔使用的是高纯度硅片,厚度是523微米,上下这是一微米厚的7740玻璃……”
说着,庄建业伸手指着不远处正在运行的几台设备说道:“我们所使用的加工工艺,与芯片相同,都是对硅片进行清洗,然后进行干氧和湿氧;紧接着利用193纳米光刻机进行电路和空腔的加工,在专用蚀刻机进行进一步精加工,随后布设电路,注入铷原子,冲入氮气和氩气,最后封装、测试。
整个过程就是一套半导体芯片的加工过程,得益于这些年我们在半导体产业链上的持续投入,如今类似这种气泡空腔可以完全实现国产化,当然想要量产还需要追加投入,比经过我们这里只是个测试车间,很多设备和流程并不完善,需要跟专业的厂房和设备才能做到效率和成本的最优化……”
庄建业前面说的还不错,充分体现了一位超大型央企负责人的专业素养,可说着说着,味儿就不对了,啥专业,啥素养,都敌不过一个钱字重要。
好在总部首长以下对庄建业张口闭口谈钱这种伤感情的事儿早就见怪不怪了,特别是总部首长,这么多年就没见过庄建业不在自己面前不谈钱的时候,两只耳朵自动忽略庄建业后面关于钱的问题,而是跟几位总部领导和专家低头商量几句后,伸手将庄建业手里的那盘硅片拿过来,在几位专业人员的指导下,用专用的观瞄镜仔细看了看,点点头:“不错,看来你们中国腾飞的确在这方面下了功夫……”
说着,抬眼看向庄建业,指着手里的硅片问:“对了,你们的芯片级铷原子钟另一个空腔使用的也是这种加工技术?”
庄建业点点头:“大体的工艺遵循气泡空腔,不过相较于传统的惰性气体光源和二氧化碳激光器光源的高功率,我们采用了全新的空腔激光器作为铷原子震荡分离的光源……”
“那你们的功率是多少?”总部首长追问。
庄建业眯眼一笑:“也不是很多,不过区区17微瓦而已!”
总部首长当即就变了声调:“17微瓦……还而已?”
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